扫描电镜SEM

Zeiss LS 15采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。配有SE、VPSE、CZ BSD和EPSE四个探头，HV(高真空模式)、VP（低真空模式）、EP(环境扫描模式)三种观测分析模式。压力范围可从10-5至3000帕，不仅可以用于金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌      组织观察，材料断口分析和失效分析，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量，还可以用于生命科学领域，对病毒，物组织等含水生物样品，在保持其原有形态的基础上进行形貌观测。

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