FEI旗下PhenomWorld台式扫描电子显微镜

飞纳台式扫描电镜能谱版
—— 智能、高效、能谱电镜一体化

放大倍数：20×-45,000×

分辨率：优于25nm

电子枪：1500小时CeB6灯丝

抽真空时间：10秒

加速电压：5 / 10 /15 kV 三档

能谱仪EDS元素分析功能

拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等

Phenom ProX （飞纳台式扫描电镜能谱版）是Phenom第三代产品，结合了表面成像功能和元素分析能谱EDS功能，能谱仪 EDS的可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。


电镜能谱一体化设计，简洁小巧
Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，售后无忧的宗旨，Phenom ProX的能谱仪EDS 系统完全嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图
带能谱仪DES的传统电镜	Phenom ProX


瞬间得到样品表面形貌和元素含量
第一步：利用成像模式得到高分辨率的照片，背散射电子给出丰富的成份像，杂质一目了然		第二步：如果需要分析元素含量，瞬间切换到成份分析模式，点击感兴趣的区域，立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布


5kV，10kV，15kV 三档加速电压
Phenom ProX提供三档加速电压，用户可根据样品类型和测试目的，灵活切换
5kV ：血液绝缘体直接观测模式适合对电子束敏感的样品	10kV：电路板最佳分辨率模式适合绝大部分样品	15kV：电路板元素分析模式 X射线特征谱线更明显


表面形貌和成分信息同时展现
背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom（飞纳）采用4分割半导体背散射电子探测器，为您提供两种成像模式，模式之间可迅速切换：
• 成份模式：同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨
• 形貌模式：去除成份信息，样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰，适用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加	形貌模式 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消

成份模式图像包含样品成份与形貌信息	形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征


专利样品杯，30秒快速成像
Phenom（飞纳）专利样品杯、低真空设计、专利的真空封锁技术，装入样品后30秒内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右。

直接观看绝缘体，无需喷金

Phenom（飞纳）采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，下图头发示例：


操作简便，全程导航
	• 自动/手动聚焦	Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。
	• 自动/手动亮度
	• 自动/手动对比度
	• 自动灯丝居中调节
	• 自动马达样品台
	• 光学/电子样品导航

			光学导航，所有待观测样品尽在视野之中，高倍下准确切换样品，只需点击感兴趣样品，即可自动移动到屏幕中央
			低倍SEM照片导航，导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域，点击感兴趣的区域，自动移动到样品中央。


长寿命/高亮度/低色差 CeB6 灯丝
Phenom（飞纳）采用逸出功为2.5eV的CeB6灯丝，其亮度为钨灯丝的10倍，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像，其使用寿命长达1500小时，为钨灯丝的10倍，可正常使用1-3年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。