评论: 牛津仪器推出五个腔体集成自动系统

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--[概述]-- 作为行业领先的系统制造商--牛津仪器等离子技术部，最近为全球领先的太阳能电池制造商Robert Bosch推出了一款五个腔体的集成自动系统。该System100Pro的沉积工具是一个有着能够提供多种沉积技术能力并且允许在不破真空状态下完成多个制程步骤的"六向处理器"。牛津仪器公司的集成自动系统为处理程序和处理模块提供了高真空的选项，从 ......