评论: 牛津仪器为Natre Dame大学提供等离子体设备

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--[概述]-- 为进一步的扩大和促进研究能力，美国中西部纳米电子研发中心(MIND)采购了牛津仪器公司等离子技术部的等离子蚀刻和沉积两套设备。该FlexALâ原子沉积(ALD)和System100 ICP等离子蚀刻设备将安装在Notre Dame的纳米加工设施里，位于美国印第安纳州Notre Dame大学校园里工程学斯廷森-雷米克厅的9000平方英尺的无尘室。 ......