评论: 半导体所集成技术中心召开电子束光刻用户研讨会

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--[概述]-- 4月12日下午，中科院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心召开了2011年度电子束光刻用户研讨会。半导体集成技术工程研究中心领导以及来自半导体所各部门的30余名从事纳米加工的研究生出席了本次会议。半导体集成技术工程研究中心主任杨富华简要回顾了10年来集成技术中心设备的购建、技术人员的配备和研究生的培养过程。他希望同学们能够带着自己的技术问题，通过本 ......