评论: 上海光机所13.5nm软x射线反射镜反射率最高值达到67.8%

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--[概述]-- 中科院强激光材料重点实验室近期在13.5nm软x射线反射镜研制方面取得重要进展，技术性能指标达到国际先进水平。经合肥国家同步辐射实验室测试，反射镜S分量反射率最高值达到67.8%（34.4°入射）。 13.5nm软x射线多层膜反射元件与现代科学技术研究的前沿课题密切相关，在天文学、极紫外光刻、x射线激光以及同步辐射装置等方面都有重 ......