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光电所微透镜列阵制备技术获得新突破
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--[概述]--
中科院光电技术研究所第四研究室微光学研究小组以国家工程项目需求为牵引,通过发展新工艺,在基于曲面载体的微透镜阵列研制方面取得新的突破,在国内首次实现了基于曲面载体的微光学结构制备。微结构子口径可以从几微米拓展到毫米级,子孔径形貌可以是四边形、六边形以及各种不规则形状,填充因子根据需要可以达到100%。 在研究组前期发展的移动掩模技术、移 ......
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光电所微透镜列阵制备技术获得新突破
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