评论: 微电子所研制出国内首个低温可充气真空辐射系统

评论数: 0 / 好评: 0 / 差评: 0

--[概述]-- 通过近两年的努力，国内首个低温可充气真空辐射系统由中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室(一室)研制成功。该低温测试系统由一室可靠性测试小组刘刚、毕津顺、曾传滨等科研人员自行设计完成，其极限真空<10-7Pa，12小时静态漏气<0.1Pa，气体充气能力为1Pa—1MPa，液氮温度连续实验时间>5小时。 ......