评论: 微电子所新型三氧化二铝表面钝化研究获进展

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--[概述]-- 日前，中科院微电子研究所在新型Al2O3表面钝化研究上取得突出进展。良好的表面钝化对于提升晶体硅太阳能电池的开路电压十分重要，传统晶体硅电池常用等离子体增强化学气相沉积法沉积SiNx:H薄膜，除了能够降低反射率以外，还对Si电池的表面进行了较好的钝化。然而传统SiNx:H薄膜对晶体硅的表面钝化效果有限，因此对表面钝化技术的探索和研究， ......