评论: 日本名古屋大学Kazuo SATO教授来微系统所作学术报告

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--[概述]-- 8月11日上午，受微系统所焦继伟研究员邀请，来自日本名古屋大学的Kazuo SATO教授，为职工和学生作了题为MEMS Technology Innovation Based on Micro/Nano Science的报告。 Kazuo SATO教授从1983年就开始致力于MEMS相关技术研究，主要研究领域为单晶硅刻蚀及其物理性能 ......