评论: 印度知名研究机构订购牛津多台设备

--[概述]-- 牛津仪器等离子技术部是刻蚀、沉积和生长设备的领导者,近期获得位于印度班加罗尔的印度科学院(IISc)纳米电子研究中心(CEN)采购三台等离子刻蚀与沉积设备的订单。这三台System100等离子刻蚀与沉积设备将安装在该纳米电子研究中心(CEN)先进的纳米电子设备无尘室内,其中两台是PlasmaProTM System 100系列电感耦合等离子体刻蚀 ( I ......
     

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