扫描电镜——扫描电镜的特点和原理

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  4.3 扫描电镜

  4.3.1 扫描电镜的特点和工作原理

  自从1965 年第一台商用扫描电镜问世后,它得到了迅速发展。其原因在于扫描电镜弥补了透射电镜的缺点,是一种比较理想的表面分析工具。透射电镜目前达到的性能虽然很高,如分辨本领优于0.2~0.3nm,放大倍数几十万倍,除放大成像外还能进行结构分析等,但其有一个最大的缺点就是对样品要求很高,制备起来非常麻烦。而且,样品被支撑它的铜网蔽住一部分,不能进行样品欲测区域的连续观察。扫描电镜则不然,它可直接观察大块试样,样品制备非常方便。加之扫描电镜的景深大、放大倍数连续调节范围大,分辨本领比较高等特点,所以它成为固体材料样品表面分析的有效工具,尤其适合于观察比较粗糙的表面如材料断口和显微组织三维形态。扫描电镜不仅能做表面形貌分析,而且能配置各种附件,做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。

  扫描电镜的成像原理,和透射电镜大不相同,它不用什么透镜来进行放大成像,而是象闭路电视系统那样,逐点逐行扫描成像。




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引用 删除 khj3155   /   2010-12-23 20:16:40
hao xiele
引用 删除 khj3155   /   2010-12-23 20:16:29
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