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EPMA电子探针显微分析

上一篇 / 下一篇  2010-10-08 16:57:45 / 个人分类:纳米中心

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EPMA(Electron Probe MicroAnalysis),是电子探针显微分析技术,利用聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的区域相互作用,用X射线谱仪对电子激发体积内的元素进行分析的技术。

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