纳米中心介绍文档

纳米材料与技术研究中心现有面积近800平方米，拥有原子力显微镜（SPM-9500J3）、拉曼光谱议（RM2000），扫描电子显微镜（SSX-550）、电子探针（EPMA-1600）、太阳能电池测试仪、真空镀膜机（DM-450C）、四元共蒸发镀膜设备、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、离子刻蚀机、直拉单晶炉、双辉光等离子体渗金属炉等先进大型仪器设备，同时还拥有显微硬度计、自动椭圆偏振测厚仪、往复式磨损测试仪、多功能表面试验机、涂层划痕仪、真空气氛磨损测试仪、紫外光谱仪、四探针等材料测试仪器设备。可以进行材料学科的各类测试表征，表面形貌图像、能谱分析、材料成分定性定量测试、光谱性能测试、材料表面改性测试等，以及光电材料、纳米材料、薄膜材料的加工制作和改性研究等。