同位素质谱分子泵保养与维护

稳定同位素质谱涡轮分子维护与保养内容如下：

（1）润滑油棉，每年得更换一次；

（2）超声波全面清洗转/定子叶片及腔体并烘干

（3）更换了全套原装进口陶瓷轴承，油棉及密封件等损耗品

（4）马达线圈阻值测量，转子定子间隙测量

（5）根据ISO1940/1& ANSI S2.19，调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准

（6）测试0-90000rpm启动时间<3分钟

（7）测试极限真空值<1.0*10－7mbar

（8）持续模拟生产现场测试24小时

（9）0-20KHz震动频谱加速度分析

（10）6000-90000rpm全转速动平衡分析及校准

（11）Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/s

分子泵的清洗（一般质谱的分子泵是不用清洗的）

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。

直接清洗的方法如下：

关掉分子泵，进行排气。

从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等，拆掉润滑的油包，将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜。

上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。拿出分子泵。

将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。

用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。

在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。