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四氟化碳
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下一篇 2011-11-24 15:16:22
四氟化碳（CF4 Tetrafluoromethane;Carbon Tetrafluoride） CAS:75-73-0
| 项目 |
指标纯度% |
| 四氟化碳（cf4） |
99.999% |
99.9997% |
99.99994% |
| 杂质含量 |
氮气 |
﹤5ppm |
﹤1ppm |
|
| 氧气 |
﹤2ppm |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
| 氩气 |
|
|
﹤20ppb |
| 氢气 |
|
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
| 总烃 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
| 一氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
| 二氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.25ppm |
﹤100ppb |
| 水 |
﹤2ppm |
﹤1ppm |
﹤200ppb |
*注：产品参数仅供参考，在保证产品纯度下，供方有可能根据原料参数变化而改变产品的参数，不再另行通知
包 装：
采用GB 钢瓶或DOT钢瓶，也可分装。
主要用途:
在常温下 ,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在 900 ℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
联系方式：
电话：4000529166
邮箱：cnalkodi-im-sales@airliquide.com
网址：http://www.kodi.cn
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