【课件】X射线光电子能谱分析方法及原理(XPS)

　　主要内容：

　　•XPS 的发展

　　•基本概念

　　•XPS 的工作流程及原理

　　•XPS谱线中伴峰的来源

　　•XPS谱图中伴峰的鉴别

　　•利用XPS谱图鉴别物质

　　•XPS的实验方法

　　•XPS谱图的解释步骤

　　•XPS 的特点

　　XPS 的发展：

　　•XPS理论首先是由瑞典皇家科学院院士、乌普萨拉大学物理研究所所长 K·Siebahn 教授创立的。

　　原名为化学分析电子能谱:

　　ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。

　　•1954年研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子能谱仪。

　　•XPS是一种对固体表面进行定性、定量分析和结构鉴定的实用性很强的表面分析方法。

　　•现今世界上关于XPS的刊物主要有：

　　Journal of Electron Spectroscopy.

　　Related Phenomena.