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探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

上一篇 / 下一篇  2010-09-25 11:33:24 / 个人分类:台阶仪

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探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

40多年的探针轮廓技术创新于一身,该系统在行业内的表现遥遥领先,以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项,用于程序化测量、低探针力表征和细节分析

 

台阶仪 Dektak 150 表面轮廓仪(探针式)

规格:

测试技术:探针轮廓技术

测试功能:二维表面轮廓测试

样品视场:640*480像素,USB17 inc 平板显示器

探针传感器:低惯量传感器(LIS 3

探针压力:使用LIS 3传感器:115 mg

          使用N-lite传感器:0.0315 mg

探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm25 um;

          高径比针尖:10 um * 2 um 200 um*20 um

样品载物台:手动X/Y/@100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;

            可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;

            可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;

            1um重现率,0.5 um 分辨率

计算机系统: 主机使用celeron或者semprom处理器

软件:Dektak软件

      台阶检测软件

      可选应力测量软件

      可选三维Vision分析软件

      可选缝合软件

减震装置:可选桌式震动隔离装置

          可选台式震动隔离装置

性能

扫描长度范围 55mm(2.1英寸)

每次扫描数据点 最多12万数据点

最大样品厚度 高达90 mm (4英寸),取决于配置

最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)

台阶高度重现性 6

垂直范围:标准524um(0.02英寸);可选1mm

垂直分辨率:最大1A6.55um垂直范围下)

尺寸:292 mm *508 mm*527 mm

重量:34 kg

电源要求:

输入电压: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ


探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

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