供应E型电子枪

上一篇 / 下一篇 2010-11-04 15:42:39

新型E型电子枪

一.概述

本蒸发源系坩埚由电机直接驱动、电子束偏转角为270º、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转式E型电子束蒸发装置。

　　用于真空镀膜过程中电子束蒸发镀膜。实际中广泛应用于：增透膜、眼镜镀膜、光纤光学、高反镜、热/冷反光镜、低漂移滤波器、带通滤波器等。
电子束蒸发能够很好的控制薄膜厚度、控制薄膜的均匀性，增加镀膜的一致性和重复性，薄膜易于控制。

主要特点：

　　结构先进

　　充分借鉴国内外先进的电子枪的优点，具有独特的水冷和密封结构，经多次长时间的实验证明，电子枪能够在很大的电子束流下长期稳定工作。

　　可在高温环境下长期可靠工作

　　在通常镀膜工艺中，工件需加热至很高温度，整个真空室内温度很高，而本电子枪良好的冷却系统能保证电子枪在 400℃的高温环境下长期正常工作。　

　　完全适用于反应气体

　　在反应沉积镀膜过程中，通常需要用氧气或氮气等与蒸发的膜料进行反应沉积所需薄膜，在此过程中增加反应气体的活性和能量，对形成高质量薄膜至关重要。
本电子枪可以在完全通入反应气体下正常工作。

　　安装简便、维护简单运行成本低

　　本电子枪的安装非常简单，耗材只是灯丝及磁件，日常维护工作主要是更换灯丝及磁件。

　　操作简单

　　电子枪的操作简单，通过调节电子枪的电子束束流以及扫描幅度即可使电子枪稳定工作（手动及全自动）。控制面板上能直接观察到灯丝电压、电流。

二、主要技术参数

电子束偏转角	270o	阳极电压	6KV-15KV
阴极加热电源	AC 3V+3V， 60A 可调	束流	间冷坩埚0～500mA，直冷坩埚0～1A
坩埚容量(标准型)	4孔间冷4×17mL，4孔直冷 4×22mL，环形直冷 85mL	磁场电源	X偏转电流 ±2A可调,扫描频率10～250Hz;Y偏转电流 ±2A可调,扫描频率10～250Hz
启动真空度	6.7×10-3 Pa	坩埚定位(四孔坩埚)	电控自动或手动点控
坩埚冷却水	进水温度≤25℃，进水压力≥0.2MPa，水流量≥8L/min	电子枪体接地电阻	≤4Ω

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