Dektak 6M 台阶仪 膜厚仪 轮廓仪 测试 设备共享 福州

Dektak 6M 性能指标

1. Dektak 6M高精度表面轮廓仪能测量薄膜厚度，表面的粗糙度和波度，其广泛应用在半导体、微量流控、精细加工和存储器等行业。
2. 测量重复性7.5Å（经典值：6.0 Å），1δ (10000Å 标准台阶)。
3. 最大扫描长度30mm，用于测量弯曲度和波度。
4. 配有快速更换探针附件。
5. 低噪音线性LVDT传感器，保证Z轴方向高分辨率测量。
6. 电磁探针压力调整系统，不管探针在何垂直位置都可保证探针压力不变。
7. 线性扫描——基于精确光学平面的样品台——提供了优越的基线稳定性，消除了几何测量误差。
8. 精确6英寸样品台（X-Y-Theta手动定位）
9. 台阶检测功能，可自动自动测试多重台阶。
10. 彩色摄影镜头（放大倍数160倍并配有视频图象自动捕捉功能），为报告和演讲提供丰富的图形数据。
11. 视频观测功能使探针在整个扫描过程中均处在观察中，保证了扫描数据和视频图象的相互关联。
12. 大于1英寸的样品空间可确保大样品的测量。
13. 多扫描程序具有生成标准统计报告，用以计算标准偏差和平均值等结果。

14. 软件有30种分析功能,包括程控数据过滤等，从而得到精确的粗糙度和波度结果。
15. 低惯性感应器技术的应用可以把探针压力调整到1mg，从而使出众的表面表征能力得以实现。
16. 标准垂直测量范围262um(1 mm可选择)
17. 数据采样点可达60,000/扫描。