本原 CSPM4000系列扫描探针显微镜 原子力显微镜

主要性能

■ 集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)、扫描隧道显微镜(STM)、磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM)
■ 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式
■ 只需要更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 
■ 具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能
■ 具有图形刻蚀模式和向量扫描模式的纳米加工技术
■ 具备双向扫描（Trace-Retrace）功能
■ 样品尺寸增大至直径50mm、厚度30mm
■ 主控制系统采用德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP)
■ 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接
■ 快速全自动进样，无需手工粗调
■ 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描仪和探针架参数智慧识别和控制
■ 基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件
■ 扫描图像当前全部工作环境参数同步保存
■ 可连续采集、存储和重现动态过程（纳米电影）
■ 具有国家、国际相关标准全系列参数的样品粒度和粗糙度自动分析
■ 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/样品模拟扫描/用已知针尖重建图像)
■ 按功能模块划分的总线插卡式结构，便于日后系统维护和升级
■ 可附加第二显示器和光学显微辅助系统
技术指标
• 系统功能
    原子力显微镜（AFM），包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起等多种工作模式
    摩擦力显微镜（LFM）
    扫描隧道显微镜（STM）
    纳米加工和操纵，包括图形刻蚀模式和向量扫描模式
• 分辨率
    原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶体标定）
    扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶体标定）
• 参数性能
    电流检测灵敏度：≤10pA 力检测灵敏度：≤5pN
    图像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024
    扫描角度：0～360°
 扫描频率：0.1～100Hz
    预置隧道电流：0.001～10nA
    偏置电压：-10～+10V
• 电子控制系统
    中央处理器：德州仪器（TI）32位数字信号处理器(DSP)，运算速度150MHz
    20通道16-bit DAC，建立时间1.5微秒
    20通道16-bit ADC，采样率500kHz
    通信接口：10M/100M快速以太网（Fast Ethernet 10/100）接口
• 机械性能
    样品尺寸：最大可达直径50mm，厚度30mm
    全自动步进电机控制进样系统：行程30mm，定位精度50nm /步
• 计算机系统
    Pentium4-2.8GHz，256MB RAM，80GB HDD，CD-ROM，17"液晶显示器
    基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件
　标配
• STM、AFM/LFM多模式探头
• STM、AFM/LFM探针架
• 在线控制/后处理软件