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多晶表面金属杂质测定方法

上一篇 / 下一篇  2010-11-11 16:05:22 / 个人分类:ICP-MS资料汇总

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  中华人民共和国国家标准

  酸腐蚀-ICP-MS

  测定多晶硅表面金属杂质

  Test method for measuring surface metal contamination of polycrystaiine silicon by acid extraction-ICP-MS

  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

  中国国家标准化管理委员会

  前 言

  本标准等同采用SEMI MF-1724-1104,本标准与原标准相比,主要有如下变动:

  ——用等离子质谱仪代替了原标准的原子吸收光谱仪;

  ——对原文中的相关标准的浓度进行了修改,以适应等离子质谱仪的分析要求;

  ——对仪器的测试条件进行了修订。

  本标准由中国有色金属工业总公司提出。

  本标准由中国有色金属工业总公司归口。

  本标准由新光硅业科技责任有限公司责修订。

  本标准主要修改人: 、 、

  本标准所首次发布




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