二次离子质谱 讲解 课件

上一篇 / 下一篇  2010-10-16 12:08:57 / 个人分类:二次离子质谱资料

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  二次离子质谱(SIMS)

  Secondary Ion Mass Spectroscopy

  Qing-Yu Zhang

  State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams

  SIMS ¾¾ 引言

  二次离子质谱是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素,并能给出同位素的信息,分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度,可达到ppm甚至ppb的量级,还可以进行微区成分成像和深度剖面分析 。

  SIMS ¾¾离子溅射与二次离子质谱

  v二次离子质谱

  一定能量的离子打到固体表面会引起表面原子、分子或原子团的二次发射,即离子溅射。溅射的粒子一般以中性为主,其中有一部分带有正、负电荷,这就是二次离子。利用质量分析器接收分析二次离子就得到二次离子质谱。




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引用 删除 王朝英   /   2013-01-10 19:58:16
谢谢博主,我开始学习SIMS,请多多指教呀~~
引用 删除 王朝英   /   2013-01-10 19:57:49
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xdianjie 引用 删除 xdianjie   /   2010-12-28 09:51:45
butterfly007 引用 删除 butterfly007   /   2010-10-19 17:07:23
3
hongjingzi 引用 删除 hongjingzi   /   2010-10-18 15:47:48
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