二次离子质谱 讲解 课件

　　二次离子质谱(SIMS)

　　Secondary Ion Mass Spectroscopy

　　Qing-Yu Zhang

　　State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams

　　SIMS ¾¾ 引言

　　二次离子质谱是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息，分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度，可达到ppm甚至ppb的量级，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析 。

　　SIMS ¾¾离子溅射与二次离子质谱

　　v二次离子质谱

　　一定能量的离子打到固体表面会引起表面原子、分子或原子团的二次发射，即离子溅射。溅射的粒子一般以中性为主，其中有一部分带有正、负电荷，这就是二次离子。利用质量分析器接收分析二次离子就得到二次离子质谱。