日立高新扫描电子显微镜SU1510样本

日立高新扫描电子显微镜SU1510结构紧凑，性能高与现有型号相比，减少了20%的体积。 

标配可变压力模式。 

保证30 kV电压时，二次电子3.0 nm的分辨率， 背散射电子4.0 nm（6帕） 可满足直径153 mm，高60 mm的样品 采用TMP真空系统，节省占地面积和电源功耗。