日立SU6600可变真空度热场发射扫描电镜

日立SU6600可变真空度热场发射扫描电镜

SU6600是日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP（Variable Pressure）功能，可向样品室充入气体，可以满足不导电样品的无蒸镀观测：在低真空（10~300Pa）下可能获得优于3.5nm的高分辨背散射电子像。该设备适用于微纳米材料精细形貌观察，可得到高质量高分辨二次电子图像。配备的EDAX公司的X射线能谱仪可对样品做定性及定量分析。该设备适用于材料、物理、化学、生物、医学等领域的微观表征和分析。