新型台式扫描电子显微镜JCM-6000Plus NeoScope™上市 － 配备高灵敏度的半导体检测器，实现了高效率的分析

日本电子株式会社（董事长兼总裁 栗原权右卫门）日前宣布为满足多元化的客户需求和扩大市场规模，开发出了新的台式扫描电子显微镜JCM-6000Plus NeoScope™，并将于2015年8月份开始上市。

产品开发的背景

扫描电子显微镜在医学、生物学、纳米技术、金属、半导体、陶瓷等各个领域应用日益扩大，其应用目的也从基础研究扩展到了制造现场和质量控制。
JCM-6000Plus配备了高端机型采用的高灵敏度半导体检测器，能很容易地获得样品的成分衬度信息，实现高效率的分析。另外，还继续高真空功能和二次电子检测器，在高倍率下能清楚地观察样品浅表面的微细结构。

主要特征

1. 触摸屏操作方便，自动化功能齐备
2. 可以高真空条件下观测二次电子图像
3. 背散射电子像的质量得到增强
4. 丰富的选配功能，如元素分析等
5. 外观设计新颖，结构紧凑

主要技术指标

放大倍率	x10 ～ x60,000
成像模式	高真空／二次电子、背散射电子（成份像、形貌像、阴影像） 低真空／背散射电子（成份像、形貌像、阴影像）
加速电压	5kV／10kV／15kV　3档切换
电子枪	灯丝与Wehnelt集成柵的小型电子枪
样品台	手动控制  两轴样品台
	移动范围  　　    X:35mm　Y:35mm 最大样品尺寸 　70ｍｍ 直径 样品最大高度    50ｍｍ
自动功能	全自动 、自动聚焦、自动消像散、 自动衬度/亮度、自动对中
操作	可选择触控屏或鼠标
数字图像显示	1280×1024
选配件	能谱仪 倾斜旋转马达驱动样品架 两轴马达驱动样品台

计划销售数量

200台/年（第一年）

JEOL公司
日本电子是领军世界的电子光学设备及仪器厂家，产品用于高端科学及工业的研究与开发。核心产品群包括电子显微镜（SEM和TEM）、半导体行业的设备（电子束光刻设备和一系列缺陷审查和检测工具）及包括质谱仪、核磁共振谱仪和电子自旋（顺磁）共振谱仪等在内的分析仪器。

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