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日立发布FlexSEM 1000小型扫描电镜 分辨率媲美大型电镜

发布: 2016-04-17 00:52:22来源: 日立高新技术公司

-结构紧凑可放置在桌面上,实现高分辨及简易操作-

2016年4月15日,日本株式会社日立高新技术(TSE:8036,日立高新技术)宣布全球发布新型扫描电子显微镜(SEM)——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑,占地面积小,分辨率可与大型电镜相媲美,同时操作极其简便,适用于不同程度的用户群。

扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察以及高精度元素分析,在纳米技术、生命科学、产品设计研发以及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来,扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求逐步在增加,且越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用电镜。因此,小体积操作简便高分辨的电镜越来越受关注。

这次发布的FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm,相对于现机型SU1510体积减小52%,重量减轻45%,功耗下降50%,且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可进行分离,便于场地的合理分配摆放。

FlexSEM 1000采用最新设计的电子光学系统和高可靠性,高灵敏度的探测器,分辨率高达4nm。

其操作十分简捷,实现高效率的多种自动化功能,即使是新手也能快速地拍出高质量图像。另外,新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航,一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。

紧凑型VP-SEM FlexSEM 1000

(主机与供电单元可分离)

主要特点

紧凑型设计(宽45cm),分辨率为4nm

操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片

新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野

大窗口(30mm²)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*1

5秒钟内完成精准快速的自动聚焦,自动亮度对比度功能

*1选配


主要参数


分辨率 *2 4.0 nm @ 20 kV (SE: 高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE: 高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE: 低真空模式)
放大倍率 6x ~ 300,000x (底片倍率 *3)
16x ~ 800,000x (显示倍率 *4)
加速电压 0.3 kV ~ 20 kV
低真空模式 真空范围:6 ~ 100 Pa
样品台 3-轴自动马达台
X: 0 ~ 40 mm, Y: 0 ~ 50 mm, Z: 5 ~15 mm
R: 360°, T: -15° ~+90°
尺寸 主机 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) mmm
供电单元 450 (W) x 640 (D) x 450 (H) m


*2主机与供电单元组合使用

*3@ 127 mm x 95 mm (4" x 5" 底片尺寸)

*4@ 509.8 mm x 286.7 mm (1,920 x 1,080, 像素)


关于日立高新技术公司:

日立高新技术公司,于2013年1月,融合了X射线和热分析等核心技术,成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术,精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新,因此公司变为日立高新的子公司,同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学,扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料,产品线更丰富的日立高新技术集团,将继续引领科学领域的核心技术。


厂家名称

日立高新技术集团的企业理念是“以成为先端技术领域里提供高科技解决方案的全球第一为目标”。在这个理念的指引下,将电子装置系统、生命科学系统、信息电子系统、尖端产业材料系统等各个事业部门的“先端技术&rdq...

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