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干式真空泵A 100 L-A 200 L
上海伯东销售维修 Pfeiffer干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L，用于洁净制程的整体式干泵，紧凑设计，大抽速，低能耗，满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求，是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案。Pfeiffer 干式真空泵A 100 L排除了泵安装中的真空管路影响，通过使用 Pfeiffer整体式干泵，可降低真空管路安装、集成和调试的成本。Pfeiffer干式真空泵A 100 L高可靠性和长期稳定性使其脱颖而出，现已广泛应用于全世界范围内的 300 mm 半导体工厂。

干式真空泵A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时，提供干燥无尘的洁净真空，适合在无尘室中使用，整体式干泵也为太阳能光电设备提供最佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势，小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性，是各大设备厂商首选。

干式真空泵A 200 L是针对高气流量应用的全新解决方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。

上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 主要优点
高气流量，大抽速
结构紧凑，占地面积小
易于集成，运行成本低
低噪音和低震动，无油无尘
即插即用系统：集成型监察装置
干式真空泵RS232 / RS485 接口可选

Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 应用行业
Load-lock 和传送腔
半导体生产
光伏
工业（低温，气体制造，激光源）
分析仪（用于电子显微术或表面分析的闸室）

Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 技术参数

L:标准版本    ES:节能版本

干式真空泵A 100 L 标准版本
冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L 标准版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，19 针 I/O

A 100 L ES 节能版本
紧凑型干泵集成节能模块，有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。  

主要在售型号：
A 100 L ES 节能版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
Pfeiffer 干式真空泵A 100 L-A 200 L 抽速图

Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer指定销售维修中心，我司是国内最早代理 Pfeiffer产品的公司，100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。

多级罗茨泵 A 100 L,A 200 L信息由伯东企业（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于多级罗茨泵 A 100 L,A 200 L报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途