等离子增强化学气相沉积碳薄膜生长过程的空间分辨原位检测

为了精确控制薄膜生长速率，缺陷合并，以及在二维/非二维基底上沉积生长的薄膜结构与形貌，必须需要详细了解薄膜生长表面发生的物理化学过程，尤其是均一性，相对浓度和关键化学基团的空间分布，以及基底变化和等离子体温度。