滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L

3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L

5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L

产品优点

•  与传统的CVD相比，只需较低的制备温度

• .滑轨式可快速加热和快速冷却   

•  两个加热区，温度梯度最大可达 200oC 

•  最高工作温度1100°C   

•  提供一个宽范围的材料制备 ，如碳和 ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯。

• 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

等离子发射源

• 输出功率:          5 -500W    ± 1% . 

• 射频频率:          13.56 MHz    ±0.005% .

• 反射功率:          最大 200W 

• 匹配:                自动

• 射频接口:       50 Ω, N-type

• 噪音:                    <50 dB. 

• 冷却:                  风冷. 

• 电源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

控温软件

• 计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块

• 为了获得较大的升温速度,  必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。

• 为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.

总尺寸 

•  炉体: 550 x 380 x 520  mm 

• 滑轨:   1750 mm 长

• 移动架: 1200 x 1200 x 600mm.

• 净重: 220 Lbs.

• 运输重量: 500lbs.

质保期和认证

一年质保期 (耗材部分：如炉管，“O”型高温密封圈，加热元件等不在保修范围）

• CE认证

• 所有电器元件（>24V）都通过UL?/?MET?/?CSA认证