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线上研讨会 | 纳米光学与微纳加工:推动AR/VR产业革新

发布时间: 2024-04-17 15:42:35 来源:牛津仪器

近期苹果公司发布了Vision Pro,这是一款集成了单眼4K分辨率、超清VST技术、自然交互和多元传感技术的XR设备。它的推出标志着空间计算新时代的到来,为整个行业带来了新的活力和发展方向。Vision Pro的发布,预示着苹果公司在AR/VR领域的深入布局,同时也为用户带来了更加丰富和沉浸的体验。随着科技的飞速发展,AR/VR技术已经从概念走向现实,逐渐渗透到我们生活的方方面面。从娱乐游戏到教育培训,从工业设计到医疗健康,AR/VR技术展现出了其独特的价值和广阔的应用前景。然而,要实现这些技术的全面普及和深入发展,我们需要在核心技术上实现突破,而纳米光学与微纳加工技术正是这一突破的关键。

纳米光学,作为一门新兴的交叉学科,它研究的是光在纳米尺度下的行为和效应。通过操纵光的传播路径和特性,纳米光学技术为AR/VR设备的设计和制造提供了新的思路和方法。微纳加工技术则是指在微米乃至纳米尺度上对材料进行加工和制造的技术,它使得我们能够在微小的尺度上制造出精密的光学元件和传感器,极大地提高了AR/VR设备的性能和可靠性。2024年4月23日,《化合物半导体》将联合牛津仪器带来 “纳米光学与微纳加工:推动AR/VR产业革新” 的线上主题论坛,分享他们在纳米光学与微纳加工技术研究中的最新成果,探讨如何将这些前沿技术应用于AR/VR产业,推动产业的革新和发展。   

大会议程

13:40-13:50

嘉宾登录

13:50-14:00

嘉宾介绍

14:00-14:25

用于智能AR眼镜晶圆级纳米光学解决方案

陈远 博士- 舜宇奥来技术- AR事业部总经理

14:25-14:30

互动问答

14:30-14:55

如何全面准确测量光波导微纳结构刘志文 博士 - 牛津仪器科技(上海)有限公司 - 高级应用科学家

14:55-15:00

互动问答

15:00-15:25

衍射光波导助力AR眼镜量产张学礼 - 深圳市光舟半导体技术有限公司 - 市场总监

15:25-15:30

互动问答

15:30-15:55

超构光学元件的制作Zhong REN (任重) - 牛津仪器等离子技术部 首席应用工程师

15:55-16:00

互动问答

16:00-16:25

二维阵列光波导在AR眼镜中的应用郑昱 - 北京灵犀微光科技有限公司 - CEO

16:25-16:30

互动问答

16:30

幸运抽奖

演讲嘉宾

陈远博士 舜宇奥来技术 AR微纳光学事业部总经理 

讲师介绍

陈远,浙江大学光学工程博士,在加入舜宇光学科技之前任职于展讯通信,Silicon Image 等多家海内外领先的半导体消费级SoC 公司的核心研发和管理岗位。2016 年加入舜宇光学科技后首先担任集团中央研究院技术总监,后于2019 年牵头内部创立了舜宇奥来技术这家微纳光学专业子公司,亲自担任其常务副总经理负责日常运营。其对消费级电子、消费级光学特别是手机SoC 、微纳光学的行业市场和多个关键产品技术方向具有深入见解和一线实践经验。

刘志文 博士牛津仪器科技(上海)有限公司 高级应用科学家

讲师介绍

2006年博士毕业于大连理工大学三束国家重点实验室,博士期间主要利用AFM,TEM,XRD等技术手段研究PVD制备的氧化物薄膜的生长机制。博士毕业加入安捷伦,作为纳米测量部的应用科学家,主要从事AFM的应用工作。2018年加入牛津仪器Asylum Research。目前作为牛津仪器的高级应用科学家,主要从事原子力显微镜的应用推广、测试方法的研究以及AFM相关的多系统耦合。

演讲题目: 如何全面准确测量光波导微纳结构    

增强现实技术(Augmented Reality, AR)是一种将虚拟信息与真实世界相互融合的技术。近几年来,随着市场对AR及相关周边的关注和开发,AR硬件技术也日趋成熟。众多光学硬件方案也呈现出百花齐放的态势,而头部企业将更多的关注点集中在了更轻薄更具量产可行性的波导光栅AR方案上。波导光栅AR技术的核心技术元件之一的便是微纳光学。微纳光学元件通常由微米级或波导光栅AR主要是对人眼敏感的可见光波段进行调控,为了实现较大的衍射效率、视场角(Field of View,FOV)和均匀度等特性,其光栅的特征尺寸一般在数百纳米,且其性能对光栅结构(周期、高度、线宽等)极其敏感,所以对微纳加工的精度也提出了很高的要求。目前,衍射光波导制备一般基于半导体工艺制程,如曝光、刻蚀、纳米压印等。由于这些工艺复杂,需要对制备过程和每一步的产出进行严格管控,才能实现产品的一致性和最终性能的稳定。尤其是核心部件衍射光栅在制备各个阶段的形貌监控,是保证波导光栅AR成功的最关键的步骤,利用AFM、能谱、拉曼等分析技术对纳米级光栅结构的进行全面表征。

张学礼

深圳市光舟半导体技术有限公司 合伙人&市场总监

讲师介绍

张学礼,深圳市光舟半导体技术有限公司,前华为终端早期员工,计算机视觉和机器人行业连续创业者,专注国内外新兴技术市场趋势二十年。

演讲题目: 纳米光学与微纳加工:推动AR/VR产业革新

简单介绍近眼显示光学各类技术路径的优缺点,以及衍射光波导为何成为目前最受关注的技术路径;对比业界主流的衍射光波导技术,以及目前衍射光波导量产化的现状及挑战;光舟半导体作为行业先行者所取得的一些成绩。

同时,在行业方面介绍如何做出低功耗,高亮度,足够轻便的眼镜形态AR产品,是AIGC大发展之后,人们对于AR眼镜的终极诉求,也是目前AR产业从业者的巨大挑战和机遇。

Zhong REN (任重)

牛津仪器等离子技术部 首席应用工程师

讲师介绍

任重博士2008年获得英国布里斯托大学光子学博士学位,在那里他深入研究了光学科学的复杂领域。怀着对突破技术界限的初衷,他踏上了等离子体刻蚀之旅,在超过十六年的职业生涯中塑造了自己的专业知识。作为牛津仪器的首席应用工程师,他率先在等离子体刻蚀方法方面取得了突破性进展。任博士的贡献超出了实验室范围,发表了二十多篇同行评审期刊论文和英国专利。

演讲题目: 超构光学元件的制作    

超透镜技术已经成为光学工程领域的突破性方法,彻底改变了透镜的设计和制造。与传统镜头不同,超透镜利用纳米级结构来控制光的相位和振幅,从而实现对光传播的前所未有的控制。本次报告将探讨超透镜制造的复杂性,并阐明推动这一变革领域的基本原理和前沿技术。

我们将探索各种制造方法。特别是等离子体干刻蚀,已经成为超透镜制造的关键工艺,可以精确控制纳米结构的尺寸和轮廓形状。利用反应离子刻蚀(RIE)或电感耦合等离子体刻蚀(ICP),研究人员可以获得具有出色均匀性和重复性的高深宽比纳米结构。

此外,材料科学的进步为新型超构元件的合成铺平了道路,扩展了它们在电磁波谱上的能力。通过等离子体干刻蚀的定制加工,可以实现消色差聚焦、偏振控制和像差校正等功能,进一步增强了其普适性和性能。

本次报告也将探讨可扩展的制造方法,尝试解决诸如产能优化、成本效益等关键问题。通过利用最先进的制造技术和材料,研究人员正在推动超透镜制造的边界,为从消费电子到生物医学成像等多种应用开启新的可能性。

郑昱 北京灵犀微光科技有限公司 CEO

讲师介绍

毕业于北京大学量子电子研究所,耶鲁管理学院MBA,硕士师承量子频标始祖王义遒老先生,从事量子光学、量子钟精密测量方面研究,研究成果发表了多篇CPL相关论文。他研究增强现实AR光学显示技术多年,在2014年设计出国内首个阵列光波导显示引擎完整方案,于2015年研发出国内首台光波导光学引擎演示样机。目前为止具有近 30项国家发明专利,获麻省理工科技评论第17届“35岁以下创业家”提名(MIT TR35),中关村雏鹰人才,中关村U30 35岁以下创业领军人物,担任美国罗彻斯特大学光学学院企业家顾问,多次受邀作为中国光学企业代表在世界顶级光学会议SPIE发表演讲。

演讲题目: 二维阵列光波导在AR眼镜中的应用    

二维阵列波导为加速AR眼镜作为消费级智能终端奠定了基础。作为AR眼镜实现轻量化的最终光学解决方案,二维阵列波导有着超轻薄,大视场角,高均匀性,大眼盒,色彩艳丽等特点。灵犀微光作为国内AR光学的领军企业,多年聚焦在二维阵列波导的光学设计,工艺研发,生产制造,为AR的消费级落地提供了光学基础。

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