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参考报价: | 面议 | 型号: | 450型电子束蒸发镀膜系统 |
品牌: | 沈阳科晶 | 产地: | 辽宁 |
关注度: | 780 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
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产品简介:450型电子束蒸发镀膜系统用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。
产品型号 | 450型电子束蒸发镀膜系统 |
技术参数 | 系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。 技术指标: 极限真空度:≤6.7×10 Pa 恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min 系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S; 真空室:真空室500x500 x600mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统e型电子枪:阳极电压:6kv、8kv(1套) 坩埚:水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml 功率:0-6KW可调 电阻蒸发源(可选) 电压:5、10V 功率:电流300A,输出功率3Kw1套,可切换水冷电 极3根,组成2个蒸发舟 基片尺寸:可放置4″基片 样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm加热温度 ≤800°C±1°C,可调手动控制样品挡板组件1套 气路系统:质量流量控制器1路 石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显示范围:0-99μ9999? |
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途