1100℃三温区11″管式炉GSL-1100X-11-III

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。内炉膛采用高纯度氧化铝材料，可以有效的减少能量的损失。壳体温

　　度<70℃。

2、采用不锈钢真空密封法兰，使用硅胶密封圈进行密封。

3、采用三个PID控制器，可以设置30段升降温程序。

4、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC 220V  50Hz/60Hz   8KW（需50A的空气开关）

2、石英管：外径?279mm，内径?269mm，长1300mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝

4、加热区域：长900mm

5、温区：3个，各300mm长

6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）

7、工作温度：≤1100℃（<1h），连续工作200℃-1000℃

8、升降温速率：≤10℃/min

9、热电偶：3个，K型

10、控温精度：±1℃

11、真空度：10^-2torr（机械泵）

产品规格

尺寸：1670mm×625mm×920mm；重量：200kg

标准配件

1

石英管

1根

2

氧化铝管堵

2个

可选配件

1、石英管堵

2、软件接口模块和PC机