1100℃双管三温区管式炉

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料，可以最大程度的减少能量的损失。

2、采用不锈钢真空密封法兰，使用硅胶密封圈进行密封。

3、采用三个PID控制器，可以设置30段升降温程序。

4、加热前需将石英管堵放入炉管，防止热量以热辐射的形式散失。

5、使用内管进行薄膜生长可放置最大8"的基片。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：单相AC 220V  50Hz/60Hz   8KW（需50A的空气开关）

2、石英管：外管外径?279mm，内径?269mm，长1300mm，两端打开，可连接法兰

内管外径?216mm，内径?206mm，长750mm，一端封闭，一端连接气体出入口

3、加热元件：NiCrAl电阻丝

4、加热区域：长900mm

5、温区：3个，各300mm长

6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）

7、工作温度：最高1100℃（<1h），连续工作200℃-1000℃

8、最大升降温速率：10℃/min

9、热电偶：3个，K型

10、控温精度：±1℃

11、真空度：10^-2torr（机械泵）

12、法兰：左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口，右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门

产品规格

尺寸：不包含真空法兰1300mm×623mm×940mm，包含真空法兰1670mm×623mm×940mm

重量：200kg

可选配件

1、石英管堵

2、PC控温软件

3、KF-40转KF-25接头