GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300埃，特别适用于SEM样品的镀膜。

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得最佳镀膜效

   果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：220V

2、总功率：<2000W（包括真空泵）

3、真空室：Φ160mm×120mm

4、样品台：Φ50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜

5、最大均匀镀膜：Φ45mm

产品规格

尺寸：400mm×300mm×400mm

重量：30kg

标准配件

1、金靶材

2、进气针阀

3、保险丝

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途