LSV3准分子激光微加工系统

机器类型 LSV3头部含数值孔径0,2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。

结构             黑色亚光处理，焊接钢框架,辉长岩基地，桥形结构，蜂巢形光学控制台，光学滑轨。
激光源           兼容ATL Atlex或相干Excistar XS准分子激光。
能量控制         AT4010 5-85%手动，外加通门控制
掩模的光束控制   动态系统镜面
掩模             机械线性顺序选择器
目标成像分辨率   1.5μm
目标区           达10J/cm2
零件支撑         TBD
零件移动         100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围
位置重复性       1μm
速度             200mm/s(受软件限制)
系统控制         工业PC, A3200 控制器，过程功率2010
Beath路径        管式，冲刷式
安全性          互锁功能，符合CE标准，轻型塔式

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途