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参考报价: | 面议 | 型号: | HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源 |
品牌: | AE | 产地: | 美国 |
关注度: | 10 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 进口 |
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HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源 |
靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器,為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制,輸出功率為5和8 kW。此外,其輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製,以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。 |
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途