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上海昊量光电设备有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | Aunion_Maskless_Photo_Lithography_PALET |
| 品牌： | 昊量光电 | 产地： | 德国 |
| 关注度： | 474 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | 5万-10万 | 组件类别 | 光学元件 |
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产品简介
DMD无掩膜光刻机
高速、广范围、低价格DMD式无掩膜光刻机！
AU-PALET光刻机是一款紧凑的DMD式无掩膜光刻机拥有高速、广范围、低价格、高分辨率、操作简单和可靠性高等特点。
DMD式无掩膜光刻机无需制造掩膜，采用DMD数字掩膜,可在抗蚀剂内曝光所希望的任意图案。无掩膜光刻机可以读取任何CAD数据，除此之外DMD式无掩膜光刻机还可以读取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式无掩膜光刻机使用365nmLED光源，降低价格的同时实现了稳定的曝光。采用10倍物镜，一次曝光面积可达1mm′0.6mm，曝光时间仅需1s。结合电动移动平台，可实现曝光拼接，分辨率可达到3mm。可通过公司编写的软件完成详细设定，使操作简洁方便。
与传统的光刻机不同，AU-PALET光刻机采用DMD数字掩膜光刻技术，无需制造掩膜。大大降低了时间和成本。无掩膜光刻机可以读取任何创建的CAD文件，直接进行光刻。除了CAD文件，还可以读取丰富的其它格式的数据，例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。
AU-PALET DMD式无掩膜光刻机采用短波段的LED灯为光源，相对于其它的光源，拥有更高的稳定性和更长的寿命，降低价格的同时实现了稳定的曝光。AU-PALET 无掩膜光刻机为面曝光，采用10倍的物镜，一次曝光面积可达到1mm′0.6mm，结合电动平移台可实现曝光拼接，可达到更大的曝光面积。可通过公司编写的软件完成简单操作和详细设定，操作简洁方便。
上海昊量光电设备有限公司推出的DMD式无掩膜光刻机有两种。
① AU-PALET是一款快速光刻的无掩膜光刻机。本装置采用375nm的LED光源，实现了稳定的曝光，并且拥有更高的稳定性和更长的寿命。采用10′的物镜曝光面积达到1mm′0.6mm，光刻分辨率达到5mm，并在10s 内完成曝光。
②
②AU-PALET-_new 是AU-PALET的升级版本，在光源上采用波长更短的365nm的LED灯作为光源，采用10′的物镜曝光面积达到1mm′0.6mm，光刻分辨率达到3mm，并在1s 内完成曝光。
u 主要特点
l 高速度（1s）
l 广范围（1′0.6mm）
l 365nm LED光源
l 高分辨率 （3mm）
l 成本低
u 主要应用
磁性薄膜等的任意形状的图案的形成
传感器，半导体器件的制作
MEMS器件的试制、
光电子，LED的试制
微流体器件的试制
掩膜版制作
细胞分离通道等的制作
光波导路的制作
u 主要参数
型号 参数 | AU-PALET | AU-PALET_new |
光源 | 375nm LED | 365nm LED |
光刻分辨率（使用10倍物镜） | 5 mm | 3 mm |
曝光面积（使用10倍物镜） | 1mm′0.6mm | 1mm′0.6mm |
平台 | 手动XYZq平台 | 手动XYZq平台 |
构成 | 装置本身，电脑， 软件 | 装置本身，电脑， 软件 |
外形尺寸 | 420(W) x 300(D) x 600(H) | 300(W) x 450(D) x430(H) |
选项 | 2x镜头，电动平台等 | 2x镜头，电动平台等 |
DMD无掩膜光刻机信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于DMD无掩膜光刻机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
