超小型平移台（亚微米，15mm，已集成电路）

AU- M3-LS系列位移平台，是一款集动力系统、位置传感器和控制器于一身的微型位移平台。其中动力系统采用目前很小的压电SQL-RV-1.8压降直线微电机（2.8 x 2.8 x 6 mm）和业界内很小的压电马达NSD-2101驱动IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模块上可以提供之前难以想象的运动性能。该直线微电机马达拥有较小的体积但可以提供更大的功率和稳定性。分辨率为0.5mm，精度是电磁马达的十倍。该马达没有齿轮和凸轮，直接提供直线移动的动力，并采用自锁设计，只有移动的时候才会耗电。因此比同等电磁马达的功耗降低40%

 
在紧凑的体积设计中该平台拥有完整的闭环反馈系统 。采用NSE-5310位置传感器，分辨率可达到0.5μm。该传感器芯片上集成数字编码器的磁传感器阵列，将磁性正弦波转换为数字直接输出。芯片上编码使用标准I2C协议提供直接数字输出，无需外部脉冲计数器。高效的控制系统通信在单个I2C总线上允许两个位置传感器。另外该传感器对外部环境不敏感，可适用于光照、冲击、振动等极端条件。

为了使整个运动系统体积更紧凑，该平台把控制器集成到了该平台内。该模块将PID控制器集成到电路板上，只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动该控制器。可以通过USB连接电脑，直接通过软件控制该微动台的运动。操作简单使用方便。

此外该微动台多个可组合成多轴运动的微动台。两个可以组合成X-Y轴运动的平台，三个可组合成X-Y-Z的多轴微动台。

目前该产品有两种不同类型的产品，行程分别为6mm和15mm。

u  产品主要特点
l  超小体积 （29 x 20 x 10 mm）
l  无需外加控制器
l  大行程（15mm）
l  高分辨率（0.5μm）
l  坚固性优
l  高重复性
l  低功耗 （工作时<o.7w）
l  可组成多轴微动台
l  可直接从USB适配运行


u  主要应用
手持和便携设备、便携式医疗设备、微型显微镜、光谱学、微器件装配、生物医学探测和抽样、高分辨率调谐系统、无人机/地面车辆控制和光学、微型相机系统等。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途