物镜Z轴纳米扫描台

物镜Z轴纳米扫描台

双传感器超高精度物镜扫描台！

AU-OSM-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，精度可达到亚纳米量级。采用革命性双传感器技术，这一尖端的控制技术与以往相比，可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽

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AU-OSM-Z系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

采用目前业内最尖端的双传感技术，这一尖端的控制技术与以往相比，可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器，其操作简便，为用户提供顶尖性能。

物镜扫描台主要包含AU-OSM-Z-100B和AU-OSM-Z-400A两款产品：

AU-OSM-Z-100B采用双传感技术，在不同负载下无需重复校正，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。该产品具极短的稳定时间（<4ms），自振频率达到600Hz，其极快的稳定时间为工业标准的3倍。采用电容纳米传感器定位系统，使该产品具有高的重复性（0.1nm）、直线性（0.01%）和极低的迟滞现象（0.005%）。材质采用不胀钢，刚度达到了1.5N/mm。

AU-OSM-Z-400A,为大行程的物镜扫描台，可达400mm。同样采用双传感技术，拥有极短的稳定时间和高的带宽。利用电容位移传感技术，其分辨率达到1nm。采用高刚度、无摩擦的柔性铰链为传动导向机构。

u  主要特点 

l  亚纳米的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  电容位移传感器闭环反馈

l  双传感器设计

u  主要应用 

  表面结构分析、 自动聚焦系统、共聚焦显微镜、扫描干涉仪等。

u  主要参数 

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途