亚纳米级三维扫描台

三维纳米定位工作台

亚纳米级三维定位工作台！

AU-NPS-XYZ系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。灵活的模块化组合可以提供不同特点的三维微动台，满足不同类型的高分辨率的显微镜。

Nanopositioning Stages，纳米定位工作台，微定位工作台，微动台，压电精密定位系统，三维纳米定位工作台，纳米级三维微动台,压电陶瓷平移台、压电平移台、压电扫描台、压电定位台、压电定位扫描台、压电定位平移台、压电陶瓷扫描台、高精度压电平移台。

AU-NPS-XYZ系列纳米三维维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

该三维微动台采用超级不胀钢（因瓦合金）结构，其热膨胀系数极小达到0.3ppm K^-1，使热漂移达到最小，这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。AU-NPS-XYZ系列微动台采用是由AU-NPS-XY-100A二维微动台与Z轴运动的一维微动台组合而成。因此三维微动台可以在X,Y方向可以分别提供100微米的闭环行程，在Z轴方向上可以提供15微米的闭环行程。而且可以提供四种不同的安装配置，使其满足不同的安放位置的需求。

AU-NPS-XYZ-100/Z15A 是由二维亚纳米扫描台AU-NPS-XY-100A与单轴Z向扫描台AU-NPS-Z-15A组合而成，因此该扫描台集合了二者的优势。在X轴和Y轴提供120微米的闭环行程，在Z轴提供16微米的行程，采用电容位移传感器，分辨率可达亚纳米级别。并且拥有极佳的线性和极低的迟滞。材质采用不胀钢，使其拥有极低的热漂移。

AU-NPS-XYZ-100/Z15H由AU-NPS-XY-100A和AU-NPS-Z-15H组合而成，因此这款三维扫描台性能与上一款性能相似。不同的是AU-NPS-Z-15H平台为中空的。

u  主要特点

l  亚纳米级的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  结构紧凑

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  安装简单和简单的图像校准

l  电容位移传感器闭环反馈

l  迟滞/线性误差<0.005%

u  主要应用 

 高精度显微镜、投射显微镜、光学追踪、原子力显微镜、近场扫描光学显微镜、双光子显微镜等。

u  主要参数

亚纳米级三维扫描台信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于亚纳米级三维扫描台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途