帕克 NX-HDM 原子力显微镜

Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement

对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内最低的本底噪声和独特的True Non-Contact™技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。

Higher Throughput, Automatic Defect Review

对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析， 从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

业内对于超平媒介和基体的要求越来越高，所以需要满足设备体积不断减小的需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内最低的本底噪声和独特的True Non-Contact™技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。

Automatic Defect Review for Media and Substrates

Higher Throughput, Automatic Defect Review

NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基体缺陷的识别、扫描和分析流程。借助光学检查工具所提供的缺陷位置图，Park ADR可自动定位这些位置并进行成像（分两步）：
(1) 缩小扫描成像，以准确定位缺陷。
(2) 放大扫描成像，以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中，我们可以看到相比于传统的方法，该自动功能可将缺陷检查通量提高10倍。

Automated Search Scan & Zoom-in Scan

经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速：
(1) 快速的低分辨率搜寻式扫描，来准确定位缺陷。
(2) 高分辨率的放大扫描，来获取缺陷的细节。可调节的扫描尺寸和扫描速度参数能满足用户的所有需求。

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Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM

借助独有的先进映射算法，从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。

Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool

Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

业内对于超平媒介和基体的要求越来越高，所以需要满足设备体积不断减小的需求。此外，Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内最低的本底噪声和独特的True Non-Contact™技术，Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

• 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久

• 无损式探针-样品接触=样品变化程度最小

• 避免参数依赖

Tapping Imaging

• 探针磨损更快=扫描图像模糊

• 破坏性探针-样品接触=样品受损变化

• 高参数依赖性

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

• 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号

• 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声

• 前沿和后沿无过冲

• 只需出厂前进行一次校准

Park NX AFM

Conventional AFM

Automatic Measurement Control

自动化软件让NX-HDM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。

Park NX-HDM具有： 
• 自动、半自动和手动模式
• 各自动程序的可编辑测量方法
• 测量过程实时监测
• 自动分析所获取的测量数据

Ionization System

离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡，便可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途