应用范围：灵活的OEM设备，用于多种不同样品的在线寿命测量：从单晶硅到多晶硅锭，从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口，易于连接到许多处理或自动化系统。

在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。                                                              
  

特性

允许单片调查
配方的基础测量
监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势
在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆在不同的准备阶段，直到设备，砖或锭。
小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。重点是长时间的可靠性和测量结果的精度。

技术参数

MDPlinescan 在线晶圆片晶锭点扫或面扫检测信息由束蕴仪器（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于MDPlinescan 在线晶圆片晶锭点扫或面扫检测报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途