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| 参考报价： | 面议 | 型号： | #18-279 |
| 品牌： | 爱德蒙特 | 产地： | 中国 |
| 关注度： | 635 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 组件类别 | 光学元件 |
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发布时间：2022年04月
极紫外 (EUV) 二向色滤光片
将 EUV 与 NIR 激光源分开
透射型熔融石英设计最大限度地延长组件使用寿命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 应用
极紫外 (EUV) 二向色滤光片，也称为光束分离器，旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率，用于高谐波产生应用。 这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计，支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。 除了产生高次谐波外，这些反射镜还可用于支持 EUV 应用的系统，例如 EUV 光刻、EUV 纳米加工和等离子体实验。
通用规格
| 尺寸容差 (mm): | +0.0/-0.2 | 直径 (mm): | 50.80 |
| 厚度 (mm): | 5.08 ±0.1 | 镀膜: | Dielectric Multilayer AR |
| 基底: | Fused Silica | 表面质量: | 20-10 |
| 平行度（弧分）: | <5 | 面形计算 (RMS): | <λ/10 @ 633nm |
产品型号
| 波长范围 (nm) | 产品编码 |
| 10 - 25 | #18-279 |
| 20 - 40 | #18-280 |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
