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极紫外 (EUV) 球面反射镜

参考报价: 面议 型号: #11-730
品牌: 爱德蒙特 产地: 中国
关注度: 660 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
组件类别光学元件
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

发布时间:2022年04月

极紫外 (EUV) 球面反射镜

  • 超抛光基片上的钼/硅多层镀膜

  • 13.5nm 下可实现的最大反射

  • 设计用于 EUV 光束聚焦应用

  • 适用于 HHG 应用的窄通带

极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计,并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3 RMS,可最大程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少,因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄,约为 0.5nm,确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV 球面反射镜的典型应用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.

注意:
每个反射镜均附运行样本的测试数据.


产品信息

DWL (nm)
Dia. (mm)
EFL (mm)涂层
涂层规格
产品编码
13.525.40250.00Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
Rabs>60% @ 13.5nm#11-730


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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