创诚致佳三菱锥压头

三菱锥压头，也叫做玻璃科维奇（Berkovich）压头，是一种常用于纳米压痕技术的锥形压头。

通过使用此压头对材料表面施加负载，然后测量压痕区域来评估材料的机械性能，这就是压痕技术。传统的压痕方法是采用特定形状的压头，在特定的压力下压入被测样品，保持一段时间后卸载，然后使用标尺或显微镜测量压头在材料表面留下的压痕半径或对角线长度，从而计算材料力学性能参数值，如硬度。这种测量方法是直接且简单，但分辨率较低，即使使用透射电子显微镜等高精度仪器也只能测得压深不小于10um情况下的硬度。此外，此方法的压痕尺度较大，不适用于测试薄膜材料(<2um)的性能。

另外，此方法是先加载后离线测量，因此只能得到材料的塑性性能。随着现代微电子材料科学的发展，试样尺寸越来越小，传统的压痕测试技术已经无法满足新材料的需求。此外，材料科学家不仅需要了解材料的塑性性质，还需要掌握材料的弹性性质。

纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术，它通过计算机控制载荷连续变化，并在线监测压深量。由于施加的是超低载荷，加上监测传感器具有优于1纳米的位移分辨率，因此可以获得小到纳米级(0.1纳米~100纳米)的压深，适用于超薄层材料性能的测试。

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