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半导体检查显微镜

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参考报价: 面议 型号: MX61L
品牌: 创诚致佳 产地: 日本
关注度: 876 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

半导体/FPD检查显微镜MX61L

半导体/FPD检查显微镜MX61L

观察影像实例

晶圆(明视场观察)   晶圆(暗视场观察)

晶圆(微分干涉观察)        彩色滤色片(透射观察)

半导体检查显微镜技术参数

 

半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格




光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)



机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光


反射/透射

反射/透射



照明装置

机身一体型(明视场,暗视场+1选件)



照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙


透射照明

纤维光导



对焦单元

电动/手动

手动


行程

32 mm



分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm



*大样本高度

30 mm



物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔 
    明暗视场微分干涉5孔 
    明暗视场微分干涉6孔 
    明暗视场微分干涉中心输出5孔


手动式

-



载物台

行程

14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)


观察筒

广角视场(视场数22)

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒



超宽视场(视场数26.5)

倒置

三目观察筒


正像

倾斜三目观察筒



附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载



外形尺寸

710(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)



重量

51 kg(标准组合)




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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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