发布时间：2023年05月

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

• 产品规格

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

• 分光谱仪艙安装位置：

• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

• FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

• 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

• * 从接口包括CCD的距离

• 分光谱仪重量　25kg

• 适用机型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途