PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统，该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等）。

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统，该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

 

性能指标
 

 透射电镜指标：

● 兼容指定电镜型号及极靴；

● 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

 

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

● 电流分辨率：优于100 fA；

● 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

 

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

 

光纤指标：

● 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤；

● 配备快速SMA接头、FC接头；

 

加热指标：

● 温度范围：室温到1000 ℃；

● 温度准确度优于 5% ；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。




产品特色



 可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励，实现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究。

（1）高温拉伸/压缩（加热芯片+电学STM探针）；

（2）热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

（3）三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

（4）电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

（5）光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）。




部分国内用户



部分国外用户

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途