磁场成像显微镜系统 Magma EFI HiRes

产品信息

Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷。

Magma具有极大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件。

在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、最/终封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。

新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。

基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。

 EFI工具：能够以极高的精确度检测失效的开路故障。

 HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流，磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：空间定位和灵敏度。

技术参数

产品应用

该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所\有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能，实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理任\何类型的设备和任\何类型的静态缺陷。

1.解决了所\有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。

2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离，当直流电迹可用时，新的软件能够在所\有三维重建当前路径。

3.由于磁场渗透所\有材料，SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。

4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制，只受传感器尺寸和扫描距离的限制。

5.在500nA电流灵敏度下，可以发现ω电阻的泄漏。

6.使用SDR技术，在检测电流产生的射频磁场时，应用高频信号(20MHz至200MHz)，可以发现故障。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途